洁净室施工及验收规范GB?50591-2010

中华人民共和国国家标准

洁净室施工及验收规范

Codeforconstructionandacceptanceofcleanroom

GB50591-2010

主编部门：中华人民共和国住房和城乡建设部

批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部

施行日期：2011年2月1日

中华人民共和国住房和城乡建设部

公告

第681号

关于发布国家标准《洁净室施工及验收规范》的公告

现批准《洁净室施工及验收规范》为国家标准，编号为GB50591-2010，自2011年2月1日起实施。其中，第4.6.11、5.5.6、5.5.7、5.5.8、5.6.7、6.3.7、6.4.1、11.4.3条为强制性条文，必须严格执行。原《洁净室施工及验收规范》JGJ71-90同时废止。

本规范由我部标准定额研究所组织中国建筑工业出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

2010年7月15日

前言

根据原建设部《关于印发<2006年工程建设标准规范制订、修订计划(第一批)>的通知》(建标[2006]77号)的要求，本规范由中国建筑科学研究院会同国内有关科研、高校、设计、施工等单位共同编制。

在规范编制过程中，编制组经广泛调查研究，多方征求意见，并收集整理国内外在洁净室施工验收方面的标准和相关资料，认真总结《洁净室施工及验收规范》JGJ71—90实施以来在洁净室施工及验收方面的经验教训，对其中一些主要内容和指标进行了研究、实验和论证，最后经审查定稿。

本规范共分17章和8个附录。主要内容有：总则、术语、建筑结构、建筑装饰、风系统、气体系统、水系统、化学物料供应系统、配电系统、自动控制系统、设备安装、消防系统、屏蔽设施、防静电设施、施工组织与管理、工程检验和验收。

本规范中用黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。

本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，中国建筑科学研究院负责具体技术内容的解释。

本规范在执行过程中，请各单位注意总结经验，积累资料，随时将有关意见和建议反馈给中国建筑科学研究院空气调节研究所(地址：北京北三环东路30号，邮编：100013)，以便今后修订时参考。

以下规范内容由合景净化工程公司http://www.948244.com/进行整理编辑

1总则

1.0.1为在洁净室及相关受控环境(第3章起简称洁净室)的施工及验收中，贯彻国家有关的方针政策，规范施工要求，统一检验方法，明确验收标准，以保证施工和安装质量，达到节能、节材、节水、?；せ肪澈桶踩僮鞯哪康?，制定本规范。

1.0.2本规范适用于新建和改建的、整体和装配的、固定和移动的洁净室及相关受控环境的施工及验收。

1.0.3洁净室及相关受控环境的施工及验收，应符合下列规定：

1由具有建设主管部门批准的专业资质的施工企业，按批准的文件和图纸施工，施工人员均应经过有关洁净室的施工、验收规范的培训及考核，特殊工种应持有上岗证，并应由具有专业监理资质和经过专业培训的监理机构实行全过程监理。

2施工前应制定施工组织设计。施工中各工种之间应密切配合，按程序施工。没有图纸、技术要求和施工组织设计的工程项目不应施工。工程施工中需修改设计时应有设计单位的变更文件。对没有竣工图纸的工程项目不应进行性能验收。

3工程所用的材料、设备、成品、半成品的规格、型号、性能及技术指标均应符合设计和国家现行有关标准的要求，并有齐全合法的质量证明文件。对质量有疑义的，必须进行检验。过期材料不得使用。

4分部分项工程或工程中的复杂工序施工完毕后，应进行分项验收，分项验收不合格的必须返工直至合格，并记录备案。

1.0.4本规范应与现行国家标准《建筑工程施工质量验收统一标准》GB50300配套使用。

洁净室及相关受控环境的施工及验收，除执行本规范外，还应符合国家现行有关标准的规定。

2术语

2.0.1洁净室及相关受控环境cleanroomsandassociatedcontrolledenvironment

洁净室及其附属的、辅助的、相联系的开放或封闭的内部或周边空间，该空间的悬浮微粒浓度等参数也受到符合相关标准的控制。

2.0.2单向流洁净室unidirectionalairflowcleanroom

由方向单一、流线平行并且速度均匀稳定的单向流流过房间工作区整个截面的洁净室。

2.0.3非单向流洁净室non-unidirectionalairflowcleanroom

是指流线不平行、方向不单一、速度不均匀而且有交叉回旋的紊乱气流流过房间工作区整个截面的洁净室。亦称乱流洁净室。

2.0.4混合流洁净室mixedairflowcleanroom

同时分别存在单向流和非单向流两种气流流型的洁净室。

2.0.5微粒particle

悬浮在空气中的、固态的或液态的、活性的或非活性的物质，其粒径(对本标准而言)在10nm～100μm的范围。

2.0.6气溶胶aerosol

在空气中悬浮的微小固体或液体微粒的分散系。

2.0.7生物气溶胶bio-aerosol

散布于气态环境中的生物介质。

2.0.8浮游菌airbornebacteria

悬浮在空气中的带菌微粒。

2.0.9沉降菌scttlementalbacteria

降落在表面上的带菌微粒。

2.0.10测试用气溶胶testaerosol

呈气态悬浮的固体或液体的微粒，其粒径分布和浓度已知且受控。

2.0.11泄漏leak

空气过滤器系统因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透过，透过的污染物超过下风向浓度预计值。

2.0.12检漏leaktest

找到过滤器和机组部件泄漏的方法，即使用气溶胶光度计或光学粒子计数器以相互重叠的扫描区域扫描通过测试区。

2.0.13过滤器安装后泄漏测试installedfilterleakagetest

为确认过滤器安装良好所进行的测试。测试时要验证设施没有旁路渗漏，过滤器及过滤器和安装框架间的密封面没有缺陷和泄漏。

2.0.14静态at-rest

全部建成且设施齐备，净化空调系统运行正常，现场没有人员。此时生产设备已安装完毕而未运行的洁净室状态;或生产设备停止运行并进行自净达到规定时间后的洁净室状态;或正在按建设方(用户)和施工方商定的方式运行的洁净室状态。是洁净室的三种占用状态(空态、静态、动态)之一。

2.0.15高纯气体ultrapuregas

气体成分纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm的气体。

2.0.16纯化水puritywater(去离子水或深度脱盐水)

指温度25℃时，电阻率大于0.1×106Ω·cm的水。

2.0.17高纯水(注射用水)ultrapurewater

指温度25℃时，电阻率大于0.1×106Ω·cm，水中大于或等于0.5μm的尘粒小于300粒/mL，活微生物小于9个/mL的纯水。

2.0.18大(宏)粒子macroparticle

当量直径大于5μm的微粒。

2.0.19超微粒子ultrafineparticle

当量直径小于0.1μm的微粒。

2.0.20永久气体permanentgas

临界温度低于-10℃的气体，如空气、氧、氮、氦、甲烷、一氧化碳等。

2.0.21特种气体specialgas

为满足特定用途的气体，包括单一气体或混合气体。单一气体有259种，其中电子气体115种，有机气体63种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。

2.0.22医用气体medicalgas

符合医疗相关规定要求，供治疗、诊断、预防等医学方面使用的气体。

2.0.23洁净气体cleangas

单位体积所含微粒的数量小于或等于使用此气体的洁净环境洁净度的常用气体。

2.0.24分子态污染物airbornemolecularcontamination，AMC

含在空气中的具有分子量级的污染物，如酸性气体、碱性气体、凝聚性有机物质、用于半导体的掺杂物、高挥发性有机物质和分子级的金属等。

3建筑结构

3.1一般规定

3.1.1洁净室结构工程施工前应编制施工组织设计或施工方案，并与洁净室施工配合。

3.1.2在主体结构未经验收前，不得进行后续工序的施工。

3.2结构施工要求

3.2.1装配式混凝土结构的洁净室，应在预制构件上按设计图纸预留孔、洞。

3.2.2有耐压、防渗漏要求洁净室的混凝土施工应按设计要求采用抗渗混凝土，并应制定配合比操作程序，按相关要求先做试块的抗渗试验，浇筑后应分层捣实，加强养护管理。

3.2.3洁净区内的现浇混凝土剪力墙模板不宜采用拼缝较多的组合钢模板，宜采用大尺寸硬木面层厚型胶合板。

3.2.4对大面积洁净空间采用的结构模板，应分区设控制点，多级复核。应防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精细施工，应随捣随抹光，一次性达到建筑设计标高。模板的密封胶填缝与固定应同时进行，不得遗漏。

3.2.5砌体施工质量控制等级应满足现行国家标准《砌体工程施工质量验收规范》GB50203第3.0.10条的A级要求。

3.2.6对分割洁净室相关受控环境的空间成为各自独立密封体到顶的填充墙，墙体(板)与梁、板底的缝隙应填充密实，并应作密封处理。

3.2.7高大洁净空间内的钢结构施工应严格控制构件的尺寸偏差，对设计不要求留缝的节点，应在钢结构主体验收合格后用密封材料堵严。钢结构表面的防腐、防火涂料不得漏涂。

3.2.8既有建筑改造为洁净室时，应对原有建筑进行结构验算，并应仔细检查原有结构，对原结构中出现的裂缝或缝隙应采取措施进行加固或密封。

3.3分项验收

3.3.1结构施工应按分项工程施工工艺规程进行并验收。

3.3.2结构施工应在地基基础、主体结构、二次结构完成后，进行分项验收。

3.3.3结构施工分项验收应包括以下主控项目：

1混凝土结构表面应平整、无裂缝、无麻面、无掉皮、无起沙。

检验方法：观察。

检验数量：全数检查。

2填充墙应与周围结构严密接触。

检验方法：观察。

检验数量：全数检查。

3暴露在洁净区内的钢构件表面防腐涂料应进行涂层附着力检测。

检验方法：按照现行国家标准《漆膜附着力测定法》GB1720或《色漆和清漆、漆膜的划格试验》GB9286执行。

检验数量：按构件数抽查2%，且不应少于3件，每件测3处。

4暴露在洁净区内的钢结构防火涂料应抽检粘结强度、抗压强度，并应符合有关钢结构防火涂料应用技术规程的规定。

检验方法：检查复检报告或按现行国家标准《建筑构件防火喷涂材料性能试验方法》GB9978的规定抽测。

检验数量：查阅全部测试报告或抽测不少于2次。

4建筑装饰

4.1一般规定

4.1.1洁净室建筑装饰工程施工应在主体结构、屋面防水工程和外围护结构验收完成后进行。

4.1.2洁净室建筑装饰施工应与其他工种制定明确的施工协作计划和施工程序。

4.1.3洁净室的建筑装饰材料除应满足隔热、隔声、防振、防虫、防腐、防火、防静电等要求外，尚应保证洁净室的气密性和装饰表面不产尘、不吸尘、不积尘，并应易清洗。

4.1.4洁净室不应使用木材和石膏板作为表面装饰材料。隐蔽使用的木材应经充分干燥并作防潮防腐和防火处理，石膏板应为防水石膏板。

4.1.5洁净室建筑装饰工程施工应实行施工现场封闭清洁管理，在洁净施工区内进行粉尘作业时，应采取有效防止粉尘扩散的措施。

4.1.6洁净室建筑装饰施工现场的环境温度不宜低于5℃。当在低于5℃的环境温度下施工时，应采取保证施工质量的措施。对有特殊要求的装饰工程，应按设计要求的温度施工。

4.2地面

4.2.1地面施工应符合下列规定：

1建筑底层的地面应设置防潮层。

2当旧地面为涂料、树脂和PVC板时，应将原地面材料铲除，清理、打磨干净，再抹找平层，其混凝土强度等级不得小于C25。

3地面必须采用耐腐蚀、耐磨和抗静电材料。

4地面应平整。

4.2.2现浇水磨石地面施工应符合下列规定：

1基层混凝土层应加厚，宜加大分格尺寸，分格嵌缝条应采用不产尘、防静电和对生产工艺无危害的材料。

2水磨石地面浇注的环境温度不应低于10℃。

3水磨石地面的水泥强度等级不得低于42.5级，所用石子直径应为10mm～15mm;并应符合《普通混凝土用砂、石质量及检验方法标准》JGJ52的规定。

4地面与踢脚应连为一体。

5地面磨光不应少于5遍，磨光后应使用草酸清洗干净，晾干后应用不易挥发的防静电的护面材料抛光，或用防静电的透明涂料罩光。

4.2.3粘贴地面施工应符合下列规定：

1粘贴塑料板材或卷材地面之前，应采用含水率测试仪(CCM仪)对基础地面进行现场测试?；〉孛婧视Φ陀?%，当含水率在4%～7%之间时，应使用双组分胶粘贴地面材料。含水率不得超过7%。对含水率超过7%的基础地面，必须采取干燥措施，重测合格方可施工地面。旧有地面如有空鼓、脱皮、起砂、裂痕等应按要求处理，如为光滑地面，必须先打磨成粗糙面。

2水泥类地面基底表面应平整、坚硬、干燥、密实，不得有起砂、起皱、麻面、裂缝等缺陷。

3塑料板材或卷材地面铺贴前应预先按规格大小、厚薄分类。在粘贴板材或卷材时，板材或卷材与地面之间应满涂胶粘剂，不得漏涂。

4应在粘贴地面材料4h后再做接缝焊接处理。

5施工环境温度不应低于10℃，相对湿度不得大于80%。

4.2.4涂布地面施工应符合下列规定：

1涂布地面的基底表面必须清洗、脱脂干净，并应符合本规范第4.2.3条第1款的规定。

2水泥砂浆基底的水泥强度等级不得低于42.5级，基底表面应干燥。

3每次配料应在规定时间内用完，并作记录。

4每间房间的涂布地面宜一次完成。

5施工环境温度不宜低于20℃，相对湿度应低于85%。

4.2.5架空地板施工应符合下列规定：

1架空地板及其支撑结构，应符合设计要求。安装前应复核荷载检验报告，检查土建装饰面层的质量，复核标高、外形尺寸、开孔率与孔径。

2架空地板下的静压箱，四壁表面不应产尘、开裂，并应符合防潮、防霉的要求。

3架空地板施工前应设好基准点和基准边，由地面中间向两边延伸，整体误差应留在建筑周边调整。

4架空地板上不应设置设备基础。

4.3墙面

4.3.1墙面施工应符合下列规定：

1墙面施工应在完成基底打磨与清理的粉尘作业、现场清洁、表面涂界面剂和涂刷涂料后进行。

2旧墙面应在基底清理干净后再涂界面剂，然后用腻子刮平。

3对于送风和回风静压箱空间，暴露表面的钢筋混凝土宜采用清水混凝土。

4.3.2瓷板墙面施工应符合下列规定：

1应选用大尺寸直角边瓷板，其表面应乎整、洁净、色泽一致，无裂痕和缺损。

2瓷板的基底应平整，瓷板与基底之间的浇注材料应饱满密实。

3瓷板拼缝应乎直，宽度和深度应符合设计要求，设计未明确要求时，拼缝宽度不应大于1mm。

4瓷板墙面的阴阳角应用弧形瓷条过渡。

5瓷板上的孔洞应切割吻合、边缘整齐，并应密封。

6瓷板嵌缝应用添加抑菌剂的中性密封胶嵌实。

4.3.3涂料墙面施工应符合下列规定：

1基底表面应打磨平整、清理干净，无浮尘。

2涂料应具有耐水、耐磨和耐酸碱特性。当有防霉要求时，应在涂料中加入抑菌剂，按照现行国家标准《漆膜耐霉菌测定法》GB1741的规定，进行人工施菌培养，并达到规定的要求。

4.3.4金属夹心板墙面施工应符合下列规定：

1装配式金属夹心板的钢板名义厚度不应小于0.5mm，与整体充填材料粘贴牢固、无空鼓、脱层和断裂。

2金属夹心板墙面的内部充填材料应使用难燃或不燃材料，不得使用有机材料。

3金属夹心板施工安装时，应首先进行吊挂件、锚固件等，与主体结构和楼面、地面的预设件固定。所有这些金属件都应作防腐、防锈处理。

4金属夹心板安装前应严格画线、编号，墙角应垂直交接。

5安装过程中不得剥离金属夹心板表面?；つ?，不得撞击板面。

6正压洁净室应在金属夹心板正压面用中性密封胶密封缝隙。当负压洁净室不能在负压面密封时，应在缝内嵌密封条挤紧，并应在室内面涂密封胶。

7金属夹心板不宜在现场开洞。板上各类洞口应切割方正、边缘整齐，对其中的填充材料的切割边缘应用密封胶均匀镶嵌密封。

8金属夹心板墙面的金属面与骨架之间应有导静电措施。

4.3.5整体金属壁板墙面施工应符合下列规定：

1支撑和加强龙骨架应位置正确，与墙面、地面、加强部位的连接应牢固。龙骨架及各种金属件均应作防腐、防锈处理。

2金属面板与骨架的连接应留够面板间热胀冷缩的量。金属面板背面应贴绝热层，与骨架之间应有导静电措施。

3对焊接、连接部位应作好防腐、防锈处理。

4每间洁净室如需现场喷涂，每层喷涂应一次完成。

4.3.6非金属面板墙面施工应符合下列规定：

1非金属面板应符合建筑防火要求，材质的物理和化学性能必须符合现行国家标准《民用建筑工程室内环境污染控制规范》GB50325的规定。

2饰面板应色泽一致，板画应无裂缝、划痕、凹凸和褪色等缺陷。

3非金属面板不应在土建墙上直接粘贴施工。

4非金属面板施工时，应按材质要求预留伸缩缝。

4.3.7卷材墙面施工应符合下列规定：

1墙面基底应平整、干燥。

2卷材应表面光洁，无缺陷，色泽一致。

3应处理好和踢脚板及吊顶的连接。

4卷材的粘贴、接缝、环境温湿度宜符合本规范第4.2.4条第5款的要求。

4.4吊顶

4.4.1吊顶施工应符合下列规定：

1吊顶施工应在完成基底打磨与清理的粉尘作业、现场清洁、表面涂界面剂和涂刷涂料后进行。

2旧顶板应先将其基底清理干净后再涂界面剂，然后应用腻子刮平。

3送风和回风静压箱空间，暴露表面的钢筋混凝土宜采用清水混凝土。

4.4.2吊顶宜按房间宽度方向按设计要求起拱。吊顶周边应与墙体交接严紧并密封。

4.4.3吊顶工程应在吊顶内各项隐藏工程验收、交接后施工。

4.4.4吊顶内各种金属件均应进行防腐、防锈处理，预埋件和墙体、楼面衔接处均应作密封处理。

4.4.5吊顶的吊挂件不得作为管线或设备的吊架，管线和设备的吊架不得吊挂吊顶。

4.4.6轻质吊顶内部的检修马道应与主体结构连接，不得直接铺在吊顶龙骨上，不得在吊顶龙骨上行走和支撑重物。

4.4.7吊顶饰面板板面缝隙允许偏差不应大于0.5mm，并应用密封胶密封。

4.4.8吊顶内悬挂的有振源的设备，其吊挂方式应满足建筑结构和减振消声的相关规范要求。

4.5墙角

4.5.1地面与墙面的夹角应为曲率半径R不小于30mm的圆角。当用柔性材料粘贴地面时，在墙面上应延伸至地面以上形成圆角并与墙面平齐，或略缩进2mm～3mm，突出的墙面应圆滑过渡(图4.5.1)。需经常冲刷的地面，地面材料在墙面上延伸高度应大于150mm。

4.5.2当地面与墙面的夹角用R不小于30mm的型材过渡形成圆角时，突出墙面、地面的两端处应用弹性材料逐渐过渡并嵌固密封。经常用液体处理地面和墙面的洁净室不宜采用此种形式(图4.5.2)。

4.5.3洁净室内墙面阳角，宜做成圆角或大于等于120°的钝角。

4.6门窗

4.6.1门窗安装应符合下列规定：

1门窗构造应平整简洁、不易积灰、容易清洁。

2门窗表面应无划痕、碰伤，型材应无开焊断裂。

3成品门、窗必须有合格证书或性能检验报告、开箱验收记录。

4.6.2当单扇门宽度大于600mm时，门扇和门框的铰链不应少于3付。门窗框与墙体固定片间距不应大于600mm，框与墙体连接应牢固，缝隙内应用弹性材料嵌填饱满，表面应用密封胶均匀密封。

4.6.4悬吊推拉门上部机动件箱体和滑槽内应清洁，门扇关闭时与墙体应无明显缝隙。

4.6.5安全疏散门如设有关闭件，应安在方便打开的明显位置。安全门如为需要临时破开的结构，破门工具必须设于明显位置，并应牢靠放置、取用方便。

4.6.6门上的把手如突出门面，不得有锐边、尖角，应圆滑过渡。

4.6.7窗面应与其安装部位的表面齐平，当不能齐平时，窗台应采用斜坡、弧坡，边、角应为圆弧过渡。

4.6.8窗玻璃应用密封胶固定、封严。如采用密封条密封，玻璃与密封条的接触应平整，密封条不得卷边、脱槽、缺口、断裂。

4.6.9固定双层玻璃窗的玻璃应平整、牢固、不得松动，缝隙应密封。安装玻璃前应彻底擦净内表面和夹层空间。

4.6.10双层玻璃窗的单面镀膜玻璃应设于双层窗最外层，双层或单层玻璃窗的镀膜玻璃，其膜面均应朝向室内。窗帘或百叶，不得安装在室内。

4.6.11产生化学、放射、微生物等有害气溶胶或易燃、易爆场合的观察窗，应采用不易破碎爆裂的材料制作。

4.6.3门框密封面上有密封条时，在门扇关闭后，密封条应处于压缩状态。

4.7缝隙密封

4.7.1缝隙密封施工应符合下列规定：

1密封界面应清理干净。

2密封嵌缝材料应选择不含刺激性挥发物、耐老化、抗腐蚀的中性材料，用于表面的应加抑菌剂。

4.7.2不同装饰材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适当宽度和深度的槽口或缝隙。

4.7.3密封胶嵌固前，应将待密封沟槽内的杂质、油污清除干净，并保持表面干燥。

4.7.4有防霉要求的场合不应用玻璃胶、硅胶类密封胶，应用中性密封胶，并应在密封胶中加入抑菌剂。涉及半导体或有耐碱要求的场合不应用硅密封胶。

4.8分项验收

4.8.1建筑装饰的分项验收应首先核对设计图纸和变更文件、检查原材料的出厂检验报告、质量合格保证文件和材料进场检验报告。

4.8.2建筑装饰的分项验收应包括以下主控项目：

1有防火、防腐、强度安全等要求的材料、构件、部件和处理方法均应严格符合设计要求。

检验方法：检查构件清单和检验报告。

检验数量：全部。

2水磨石地面表面应无裂纹、砂眼和磨纹，石粒应均匀，颜色图案应一致，分格条应符合设计要求且横平竖直、嵌入牢固。

检验方法：观察检查。

检验数量：抽查30%面积。

3水磨石面层表面子整度允许偏差应为2mm，缝格平直度允许偏差应为2mm。

检验方法：用2m靠尺和塞尺检查。

检验数量：抽查30%面积。

4瓷板面层表面平整度允许偏差应为1mm。

检验方法：用2m靠尺和塞尺检查。

检验数量：抽查30%面积。

5瓷板面层接缝高低的允许偏差应为0.5mm，接缝宽度的允许偏差应为1mm，接缝直线度的允许偏差应为2mm。

检验方法：用钢直尺、塞尺和拉5m线检查。

检验数量：抽查30%面积。

6粘贴与涂布面层与下一层结合应牢固、无空鼓、无隆起、色泽均匀。

检验方法：观察检查，并用小木锤轻击检查。

检验数量：抽查30%面积。

7粘贴面层表面平整度允许偏差应为1mm。板、块画层接缝高差的允许偏差应为0.5mm。

检验方法：用塞尺和2m靠尺(平整度)或钢尺(高差)检查。

检验数量：抽查30%面积。

8架空地板的开孔率或格栅通风面积应符合设计要求。

检验方法：尺量和计算，并检查产品合格证。

检验数量：抽查30%面积。

9架空地板表面平整度允许偏差应为1mm，接缝高差的允许偏差应为0.4mm，板块间隙的允许偏差应为0.3mm。

检验方法：用塞尺和2m靠尺(平整度)或钢尺(高差)检查。

检验数量：抽查30%面积，且不少于5m2。

10架空地板支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固，金属杆应作防锈处理。

检验方法：观察和用小木锤敲击检查。

检验数量：抽查30%面积。

11表面应平整，色泽应一致，漆(涂料)层应光滑、无反光现象。

检验方法：观察检查。

检验数量：全部。

12各类墙面表面平整度允许偏差应为2mm，立面垂直度允许偏差应为2mm，阴阳角弧度允许偏差应为2°。

检验方法：尺寸偏差用塞尺和2m直尺，弧度用量角器。

检验数量：抽查30%面积。

13隔墙骨架、基层板、面板的安装和粘贴应牢固，基层板与面板粘贴应无空鼓、脱层。

检验方法：轻敲、手扳、尺量。

检验数量：抽查30%面积。

14墙面压条应平直、压紧。直线度的允许偏差应为2mm，压紧无可见空隙。

检验方法：拉线，用塞尺和直尺检查。

检验数量：抽查30%面积。

15吊顶骨架材质、尺寸应符合设计要求，并经防腐、防锈处理。

检验方法：检查图纸，观察检查。

检验数量：抽查30%面积。

16吊顶饰面板应无明显缺陷，特别应无踩踏痕迹。马道铺设应合理、可靠。

检验方法;观察检查。

检验数量：抽查30%面积。

17吊顶饰面板表面平整度的允许偏差应为1.5mm，接缝高低的允许偏差应为0.3mm，接缝平直度允许偏差应为1.5mm。

检验方法：用2m直尺和塞尺检查平整度和接缝，用5m拉线和塞尺检查平直度。

检验数量：抽查30%面积。

18踢脚板应符合设计要求。

19门窗边框、副框与墙体之间的缝隙的允许偏差应为1mm，并应用密封胶均匀密封，装饰效果显著。

20活动门扇不得刮地，开关应灵活。

21玻璃夹层空间应清洁、玻璃表面应明亮。

检验方法：观察检查。

检验数量：抽查30%。

22门窗槽口对角线长度的允许偏差应为3mm，门窗横框水平度的允许偏差应为2mm，推拉自动门门梁导轨水平度的允许偏差应为1mm。

检验方法：对角线用钢尺检查，水平度用1m水平尺和塞尺检查。

检验数量：抽查30%。

5风系统

5.1一般规定

5.1.1洁净室风系统的施工安装应制定协作进度计划，与土建及其他专业工种相互配合、协调，按程序施工。

5.1.2洁净室风系统施工安装应遵循不产尘、不积尘、不受潮和易清洁的原则。

5.1.3洁净室风系统在制作与安装前应对施工图进行审核。如需要施工单位深化设计，应得到原设计单位的书面同意。

5.2风管和配件制作

5.2.1风管制作与安装所用板材、型材以及其他主要成品材料，应符合设计要求，并应有出厂检验合格证明。材料进场时应按国家现行有关标准验收。

5.2.2风管应选用节能、高效、机械化加工的工艺。

5.2.3以成品供货的风管应包装运输，并应具有材质、强度和严密性的合格证明，非金属风管应提供防火及卫生检测合格证明。

5.2.4风系统的末级过滤器(高效过滤器)之前的风管材料应选用镀锌钢板或不覆油镀锌钢板。末级过滤器之后的风管材料宜用防腐性能更好的金属板材或不锈钢板。有防腐要求的排风管道应采用不产尘的、不低于难燃B1级的非金属板材制作，若有面层，面层应为不燃材料。

5.2.5镀锌钢板的镀锌层应在100号以上，双面三点试验平均值不应小于100g/m2，其表面不得有裂纹、结疤、划伤，不得有明显氧化层、针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷。不锈钢板应为奥氏体不锈钢材料，其表面不得有明显划痕、斑痕和凹穴等缺陷。

5.2.6风管板材存放处应清洁、干燥。不锈钢板应竖靠在木支架上。不锈钢板材、管材与镀锌钢板、管材不应与碳素钢材料接触，应分开放置。

5.2.7风系统风管制作应有专用场地，其房间应清洁，宜封闭。工作人员应穿干净工作服和软性工作鞋。

5.2.8卷筒板材或平板材在制作时应使用无毒性的中性清洗液并用清水将表面清洗干净，应无镀层粉化现象。不覆油板材可用约40℃的温水清洗，晾干后均应用不掉纤维的长丝白色纺织材料擦拭干净。

5.2.9不锈钢板焊接时，焊缝处应用低浓度的清洁剂擦净。

5.2.10风管不得有横向拼接缝，矩形风管底边宽度小于或等于900mm时，其底边不得有纵向拼接缝，大于900mm且小于或等于1800mm时，不得多于1条纵向接缝，大于1800mm且小于或等于2600mm时，不得多于2条纵向接缝。

5.2.11输送无害空气的风管，应采用咬接成型。风管板材的拼接和圆形风管的闭合缝可采用单咬口;弯管的横向连接缝可采用立咬口;矩形风管成形咬缝可采用联合角咬口。风管不应采用按扣式咬口。咬口缝必须涂密封胶或贴密封胶带，宜在正压面实施，特殊的尺寸狭小空间或受力状况多变和运动中的受控环境以及输送特殊介质的，按设计可采用金属螺旋形风管或金属、非金属软管。

5.2.12风管加工和安装严密性的试验压力，总管可采用1500Pa，干管(含支干管)可采用1000Pa，支管可采用700Pa;也可采用工作压力作为试验压力。

5.2.13咬接和法兰连接的金属风管，应在胶封缝隙以后和绝热之前，按附录A的方法进行分段漏风检测或按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB50243的方法进行干管和主管系统的漏风检测。1～5级洁净度环境的风管应全部进行漏风检测，6～9级洁净度环境的风管应对30%的风管并不少于1个系统进行漏风检测。检测结果应同时符合下列两项严密性指标：

1单位风管展开面积漏风量应符合表5.2.13—1的规定。

5.2.14排放含有害化学气溶胶和致病生物气溶胶空气的风管应用焊接成型，并应按不低于1.5倍工作压力的试验压力进行试验，漏风量应为零。

5.2.15物料收集用的排风管材料应无毒、不吸附、耐腐蚀，宜采用低碳不锈钢;食品级、医用级的管道宜采用304或316不锈钢。管道应顺直、避免死角、盲管，连接风机进出口的管段应做到气流顺畅。

5.2.16风管内表面应平整光滑，不得在风管内设加固框及加固筋。

5.2.17不应从总管上开口接支管，总管上的支管应通过放样制作成三通或四通整体结构，转接处应为圆弧或斜角过渡。

5.2.18加工镀锌钢板风管不应损坏镀锌层，若有损坏，损坏处(如咬口、折边、焊接处等)应刷涂优质防锈涂料两遍。

5.2.19法兰和管道配件螺栓孔不得用电焊或气焊冲孔，孔洞处应涂刷防腐漆两遍。

5.2.20风管与角钢法兰连接时，风管翻边应平整，并紧贴法兰，宽度不应小于7mm，并剪去重叠部分，翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。

5.2.21当用于5级和高于5级洁净度级别场合时，角钢法兰上的螺栓孔和管件上的铆钉孔孔距均不应大于65mm，5级以下时不应大于100mm。薄壁法兰弹簧夹间距不应大于100mm，顶丝卡间距不应大于100mm。矩形法兰四角应设螺栓孔，法兰拼角缝应避开螺栓孔。螺栓、螺母、垫片和铆钉应镀锌。如必须使用抽芯铆钉，不得使用端头未封闭的产品，并应在端头胶封。

5.2.22在新风经过三级过滤(末级为高中效或亚高效过滤器)、回风口上安有细菌一次通过率和尘埃按重量一次通过率均小于10%的净化空调系统中，风管上不应开清扫孔。不具备上述条件时可在风管上开清扫孔，清扫孔设于每20m～30m长的直管段端头，清扫孔的门应严格密封、绝热。过滤器前后应设测尘测压孔，系统安装后必须将测尘测压孔封闭。

5.2.23静压箱内固定高效过滤器的框架及固定件、风阀及风口上活动件、固定件、控杆等应作镀锌、镀镍等防腐处理。

5.2.24风管和部件制作完毕应擦拭干净，并应将所有开口用塑料膜包口密封。

5.3风管安装

5.3.1风管安装应在土建作业完成后进行，并宜先于其他管线安装。安装人员应穿戴清洁工作服、手套和工作鞋。

5.3.2法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘、多孔且闭孔的材料制作。不得采用乳胶海绵、泡沫塑料、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料制作。密封垫厚度宜为5mm～8mm，一个系统中法兰密封垫的性能和尺寸应相同。不得在密封垫表面刷涂料。

5.3.3法兰密封垫宜减少接头，接头应采用阶梯形或企口形并避开螺栓孔(图5.3.3)，也可采用连续灌胶成型或冲压一体成型的密封垫。

密封垫应擦拭干净后涂胶粘牢在法兰上，不得拉抻，不得有隆起或虚脱现象。法兰均匀压紧后，密封垫内侧应与风管内壁齐平。

5.3.4法兰上各螺栓的拧紧力矩应大小一致，并应对称逐渐拧紧，安装后不应有拧紧不匀的现象。

5.3.5柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气、不产生静电和有稳定强度的难燃材料制作，安装应松紧适度、无扭曲。安装在负压段的柔性短管应处于绷紧状态，不应出现扁瘪现象。柔性短管的长度宜为150mm～300mm，设于结构变形缝处的柔性短管，其长度宜为变形缝的宽度加100mm以上。不得以柔性短管作为找平找正的连接管或变径管。

5.3.6当柔性短管用单层材料制作时，光面应朝里。当在管内气温低于管外气温露点条件下使用时，应采取绝热措施或采用带绝热层的成品。如采用双层材料制作柔性短管，内、外表面应为光面。

5.3.7风管和部件应在安装时拆卸封口，并应立即连接。当施工停止或完毕时，应将端口封好，若安装时封膜有破损，安装前应将风管内壁再擦拭干净。

5.3.8风管在穿过防火、防爆墙或楼板等分隔物时，应设预埋管或防护套管。预埋管或防护套管钢板壁厚不应小于1.6mm，风管与套管之间空隙处应用对人无害的不燃柔性材料封堵，然后用密封胶封死，表面最后应进行装饰处理。

5.3.9非金属风管穿墙时必须外包金属套管。硬聚氯乙烯风管直段连接长度大于20m时，应有用软聚氯乙烯塑料制作的伸缩节，两者应焊接连接。

5.3.10潮湿地区的排风管应设不小于0.3%的坡度，坡向排出方向，在末端宜设凝结水收集装置。

5.3.11擦拭风管内表面应采用不掉纤维的长丝白色纺织材料。

5.3.12风管系统不得作为其他负荷的吊挂架，支风管的重量不得由干管承受，送风末端应独立设置可调节支吊架。

5.3.13风管绝热材料不应采用易破碎、掉渣和对人体有刺激作用的材质。

5.4部件和配件安装

5.4.1风阀、消声器等部件安装时应清除内表面的油污和尘土。

5.4.2穿过阀体的旋转轴应与阀体同心，其间应设有防止泄漏的密封件。阀的零件表面应镀锌、镀铬或喷塑处理，叶片及密封件表面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。拉杆阀不应安装在风道三通处。

5.4.3风管内安装的定、变风量阀，阀的两端工作压力差应大于阀的启动压力。入口前后直管长度不应小于该定风量阀产品要求的安装长度，安装方向与指示相同。

5.4.4防火阀的阀门调节装置应设置在便于操作及检修的部位，并应单独设支、吊架。安装后必须检查易熔件固定状况。必要时易熔件也可在各项安装工作完毕后再安装。阀门在吊顶内安装时，应在易检查阀门开闭状态和进行手动复位的位置开检查口。

5.4.5消声器、消声弯头在安装时应单独设支、吊架。

5.4.6对有恒温要求的系统，消声器外壳与风管应作绝热处理。

5.4.7穿孔板消声器孔口毛刺应锉平。

5.4.8消声器内充填的消声材料应不产尘、不掉渣(纤维)、不吸潮、无污染，不得用松散材料。消声材料为纤维材料时，纤维材料应为毡式材料并应外覆可以防止纤维穿透的包材。不应采用泡沫塑料和离心玻璃棉。

5.4.9消声直段应安装在气流平稳的直管段上。

5.4.10净化空调系统绝热工程施工应在系统严密性检验合格后进行。

5.4.11风管及部件绝热材料应采用有检验合格证明的不燃或难燃材料，宜用板材粘贴形式，并宜加防潮层。

5.4.12不得在绝热层上开洞和上螺栓。风阀和清扫孔的绝热措施不应妨碍其开关。

5.4.13当绝热风管位于室外时，应在管外增设防晒、防雨淋?；た?。

5.5风口的安装

5.5.1安装系统新风口处的环境应清洁，新风口底部距室外地面应大于3m，新风口应低于排风口6m以上。当新风口、排风口在同侧同高度时，两风口水平距离不应小于10m，新风口应位于排风口上风侧。

5.5.2新风入口处最外端应有金属防虫滤网，并应便于清扫其上的积尘、积物。新风入口处应有挡雨措施，净通风面积应使通过风速在5m/s以内。

5.5.3新风过滤装置的安装应便于更换过滤器、检查压差显示或报警装置。

5.5.4回风口上的百叶叶片应竖向安装，宜为可关闭的，室内回风口有效通风面积应使通风速度在2m/s以内，走廊等场所在4m/s以内。当对噪声有较严要求时，上述速度应分别在1.5m/s以内和3m/s以内。

5.5.5回风口的安装方式和位置应方便更换回风过滤器。

5.5.6在回、排风口上安有高效过滤器的洁净室及生物安全柜等装备，在安装前应用现场检漏装置对高效过滤器扫描检漏，并应确认无漏后安装?；?、排风口安装后，对非零泄漏边框密封结构，应再对其边框扫描检漏，并应确认无漏;当无法对边框扫描检漏时，必须进行生物学等专门评价。

5.5.7当在回、排风口上安装动态气流密封排风装置时，应将正压接管与接嘴牢靠连接，压差表应安装于排风装置近旁目测高度处。排风装置中的高效过滤器应在装置外进行扫描检漏，并应确认无漏后再安入装置。

5.5.8当回、排风口通过的空气含有高危险性生物气溶胶时，在改建洁净室拆装其回、排风过滤器前必须对风口进行消毒，工作人员人身应有防护措施。

5.5.9当回、排风过滤器安装在夹墙内并安有扫描检漏装置时，夹墙内净宽不应小于0.6m。

5.6送风末端装置的安装

5.6.1送风末端过滤器或送风末端装置应在系统新风过滤器与系统中作为末端过滤器的预过滤器安装完毕并可运行、对洁净室空调设备安装空间和风管进行全面彻底清洁、对风管空吹12h之后安装。

5.6.2系统空吹时，宜关闭新风口采用循环风，并在回风口设置相当于中效过滤器的预过滤装置，全风量空吹完毕后撤走。

5.6.3空吹完毕后应再次清扫、擦净洁净室，然后立即安装亚高效过滤器或高效过滤器或带此种过滤器的送风末端装置。

5.6.4安装前的送风末端过滤器或其送风末端装置应存放在干净的室内，并应按生产厂的标志方向搁置，叠放不应多于三层。

5.6.5送风末端过滤器或其送风末端装置不得在安装前拆下包装。拆下包装后，首先应进行下列检查：

1应检查产品合格证、出厂检验报告，其中应有效率、阻力和扫描检漏的实测数据，不得以过滤器所属类别定义数据代替。

2应进行外观检查，内容应包括有无损坏;各种尺寸是否符合设计要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);带风机的风机安装是否可靠，转动是否正常;带装饰网或阻漏层的，装饰网或阻漏层是否完好、绷紧。

5.6.6送风末端过滤器安装前，应再次检查承载过滤器的框架开口尺寸，开口尺寸不得大于送风末端过滤器的边框内净尺寸(图5.6.6)。

5.6.7用于以过滤生物气溶胶为主要目的、5级或5级以上洁净室或者有专门要求的送风末端高效过滤器或其末端装置安装后，应逐台进行现场扫描检漏，并应合格。

5.6.85级以下以过滤非生物气溶胶为主要目的的洁净室的送风高效过滤器或其末端装置安装后应现场进行扫描检漏，检漏比例不应低于25%。扫描高效过滤器现场检漏方法可按附录E的方法执行。

5.6.9送风末端过滤器和框架之间采用密封垫密封、负压密封、液槽密封、双环密封和动态气流密封等方法时，都应将填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。不得在高效过滤器边框与框架之间直接涂胶密封。

5.6.10采用密封垫时，压缩率宜为25%～30%，不得将密封垫压死。密封垫材质和接头形式应符合本规范第5.3.2～5.3.3条的规定。当用螺栓、压块压紧密封垫时，四角应压紧，不得只压边框中点。当过滤器边框长度尺寸大于320mm时，应至少采用四角8点压紧。

5.6.11采用液槽密封时，液槽内的液面高度应符合设计要求或不超过槽深2/3，框架各接缝处不得有渗液现象;采用双环密封条时，粘贴密封条时不应把环腔上的孔眼堵住;双环密封、负压密封、动态气流密封都应保持负压或正压管、槽畅通;采用阻漏层和风机过滤器单元(FFU)时，边框不应用胶封，应设柔软隔层使其处于自然压紧状态。

5.6.12安装送风末端过滤器时，外框上箭头和气流方向必须一致，当其垂直安装(包括码放)时，滤纸折痕缝应垂直于地面。

5.6.13高效和亚高效过滤器安装过程中，室内不得进行带尘、产尘作业，安装完后应用塑料薄膜将出风面封住，暂时不上扩散板等装饰件。

5.7分项验收

5.7.1风管制作分项验收的检验应按风管材料、工艺、类别和输送空气中所含气溶胶的不同分别进行。外购成品风管应有检验机构提供的风管耐压程度和严密性的检测合格报告。

5.7.2风管制作的分项验收应包括以下主控项目：

1风管及其绝热材料的厚度及燃烧性能和耐腐蚀性能应满足防火要求。

2输送含有易燃易爆气体或安装在易燃易爆环境中的风管应有良好的接地，法兰间应有跨接导线。输送含有对人体有致病危险生物气溶胶空气的风管，不得有开口，必须的开口或连接口应设在负压污染区。

3风管穿墙和穿过防火防爆构件时的预埋管或防护套管以及填充材料，应符合本规范第5.3.8条的规定。

检验方法：验证检验机构提供的风管性能检测报告;用对比法观察检查或点燃有关材料试验;测量预埋管的壁厚;风管壁厚应在离两端管口法兰边内侧10mm～20mm处测量4点，取平均值。

检验数量：按检验批抽查20%。

4镀锌钢板风管经清洁剂清洗后不应起白粉。

检验方法：现场试验，留样观察。

检验数量：每一系统抽查2段风管。

5均匀交叉拧紧螺母后的法兰，其厚度差不应超过2mm。所有螺母应在同侧。风管应安装平直，每副法兰相互间错位差值不应大于3mm，各单个法兰之间的绝对差值在10m长风管范围内不应大于7mm。

水平风管安装的水平度允许偏差在1m长度内应为3mm，总允许偏差应为20mm;垂直风管安装的垂直度偏差允许在1m长度内应为2mm，总允许偏差应为20mm。

检验方法：用长板尺、塞尺量和观察检查。

检验数量：按检验批抽查20%。

6风管拼接缝、加强筋、法兰螺距和密封垫等应符合本章有关规定。

7风管及部件清洁、膜封工作应真实有效。

检验方法：尺量、观察检查。

检验数量：按检验批抽查20%。

8风管漏风量和漏风率应符合本规范表5.2.13的规定。

检验方法：按附录A的方法在正压条件下进行检验，或查验有关检查机构的检查报告。

检验数量：分别按新风、送风、回风、排风系统数的30%抽查，各不少于1个系统;

1个系统时分别按30%的干管抽查，分别不少于1条干管系统。

9外购成品风管应有强度试验，试验压力应为1.5倍工作压力，试验后接缝处无开裂。

10外购成品风管应有变形试验。风管管壁最大变形相对量(表面最大不平度b与风管短边长度H之比，图5.7.2—1)及挠度角允许值[两段风管组合件中央连接法兰部位的挠度量d与该两风管组合的两吊架(支点)间距一半L/2之比，见图5.7.2—2]应符合表5.7.2的规定。

检验方法：耐压强度和变形试验应按《通风管道技术规程》JGJ141附录A的方法进行，观察并尺量;或查验有关检验机构的检验报告。

检验数量：按系统数的20%抽查，不少于1个干管系统。

11输送含有对人体有害、致病的化学或生物气溶胶的空气的风管，在承受一定的外力负荷(80kg模拟外力负荷+绝热材料负荷)的条件下，漏风量和漏风率仍应符合本规范表5.2.13的规定。

检查方法：按图5.7.2—2的加力方向加上外力，再用漏风量检测方法检测。

检查数量：全部。

12技术夹层、技术夹道、技术竖井、风管套等隐蔽工程中的暗装风管位置应正确，无明显偏差。对可能有凝结水的管道应有加强绝热和排水措施。穿墙、板的风管套管不得有死弯及瘪陷，风管上的相关操作部位应有足够空间。

检验方法：观察、尺量。

检验数量：全部隐蔽工程中的风管。

13安装高效过滤器的框架开口内边长度尺寸不得为正偏差，允许负偏差不应大于3mm。

14安装高效过滤器的框架应平整，每个高效过滤器的安装框架平整度允许偏差应为1mm。

15高效过滤器安装后至综合性能测定前，不宜装扩散板、装饰层。

检验方法：观察、检验。

检验数量：低于5级洁净度时，按检验批抽检30%，但不应少于2台。5级及以上洁净度的全部检查。

16送、排(回)风高效过滤器应按本规范第5.6.7条和第5.6.8条的要求有扫描检漏合格报告。

检验方法：检查检验报告或抽测。

检验数量：全部。

17每一独立洁净环境安装的高效过滤器的阻力应合理调配，对于单向流环境，同一风口或送风面上的各过滤器之间，每台额定阻力和各台额定阻力平均值相差应小于5%。

检验方法：检查高效过滤器产品出厂实测值，不应以该型号定义值代替实测值。

检验数量：按安装多台过滤器的单向流风口或送风面数量的20%抽查，但不应少于1个送风口或送风面。

18对带压差计的动态气流密封的回、排风口高效过滤器装置，应送风试压，压差计读数应在10Pa以上。

检验方法：现场测验、观察。

检验数量：全部带压差计风口。

6气体系统

6.1一般规定

6.1.1洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MPa洁净的和高纯的永久气体、特种气体、医用气体、可燃气体、惰性气体输送管道以及真空吸引管道等的施工与验收。

6.2管材及附件

6.2.1气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配，如设计未作明确要求，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定：

1应使用无缝管材。

2管材内表面吸附、解吸气体的作用小。

3管材内表面应光滑、耐磨损。

4应具有良好的抗腐蚀性能。

5管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。

6负压管道不宜采用普通碳钢管。

6.2.2所用管材应放在室内保管，不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直、圆滑。

6.2.3成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效、无破损。

6.2.4氧气阀门必须采用专用产品，其密封圈应采用有色金属、聚四氟乙烯等材质。填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯。

6.2.5采用铜材的高纯气体管路，可用不锈钢材质的附件，但在不锈钢材质的管路中，不应采用铜质的附件。

6.3管道系统安装

6.3.1管道安装前应进行以下准备工作：

1配管下料时应采用“等离子切割”或专用切割锯、割管刀等工具，不应采用氧—乙炔焰切割，不得涂抹油脂或润滑剂。

2管道切口应与管轴线垂直，切口表面应平整、无裂纹，应去除毛刺。

3在主管道上连接支管或部件时，宜用成品连接件。

4普通不锈钢管应在工厂的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水冲洗干净。

5氧气管道及附件，安装前应按相关规定方法进行脱脂，脱脂应在远离洁净室的地点进行，并做好操作人员的安全与环境?；すぷ?。

6.3.2管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，应敷设在人员不易碰撞的高度上，否则应有防护设施。输送干燥气体的管道宜无坡度敷设;真空吸引管道和含湿气体管道的坡度宜大于或等于0.3%，坡向真空泵站或冷凝水收集器。

6.3.3不锈钢管道应按现行国家标准《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GB50236的要求采用氩弧焊焊接连接，焊接时管内应充氩气?；?，直至焊接、吹扫、冷却完毕后停止充气。

6.3.4有接地要求的管道，法兰间必须接有多芯导电跨线。

6.3.5穿过围护结构进入洁净室的气体管道，应设套管，套管内管材不应有焊缝与接头，管材与套管间应用不燃材料填充并密封，套管两端应有不锈钢盘型封盖。

6.3.6高纯气体管道的安装，除应符合以上有关条款规定外，还应符合下列规定：

1经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前应采取?；ご胧?，防止二次污染。

2管道预制、分段组装作业，不得在露天环境中进行。

3分段预制或组装的管段完成后两端应用膜、板等封闭。

4高纯气体管道为无缝铜管时，应采用承插式硬钎焊焊接。

焊接紫铜管时应按现行国家标准《磷铜钎料》GB/T6418要求选用磷铜钎料;焊接紫铜与黄铜管时宜按现行国家标准《银基钎料》GB10046要求，选用HL304含银量为50%的银基钎料。管内应通入与工艺气体同等纯度的氮气作为?；て宀⒋党?，不宜用沾水纺织材料擦拭。

5高纯气体管道如无法避免用螺纹连接时，官在铜与铜、铜与铜合金附件外螺纹上均匀挂锡，非氧气管道宜采用聚四氟乙烯带缠绕管口螺纹。

6不锈钢管、铜管应冷弯，弯管半径宜大于等于5倍管材外径;管壁不得起皱。

7高纯气体管道为聚偏二氟乙烯(PVDF)管时，应采用自动或半自动热焊机焊接连接。两管对接面错边不应大于1mm。

不同壁厚的管子不得对焊，热焊接连接时应采取?；せ肪澈腿嗽卑踩拇胧?。

8管道系统支架间距应小于普通气体管道的支架间距，并应采用吊架、弹簧支架、柔性支撑等固定方式。应按现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB50235的要求，在不锈钢管与钢

支架之间垫入不锈钢或氯离子含量不超过50×10-6(50ppm)的非金属垫层。

9洁净室内高纯气体与高干燥度气体管道应为无坡度敷设，不考虑排水功能，终端应设放气管。

6.3.7医用气体管道安装后应加色标。不同气体管道上的接口应专用，不得通用。

6.4管道系统的强度试验

6.4.1可燃气体和高纯气体等特殊气体阀门安装前应逐个进行强度和严密性试验。管路系统安装完毕后应对系统进行强度试验。强度试验应采用气压试验，并应采取严格的安全措施，不得采用水压试验。当管道的设计压力大于0.6MPa时，应按设计文件规定进行气压试验。

6.4.2气压试验应采用洁净度与洁净室等级匹配的惰性气体或压缩空气进行，试验压力为设计压力的1.15倍。

试验时应逐步缓慢增加压力，当压力升至试验压力50%时，如未发现异常与泄漏，继续按试验压力的10%逐级升压，每级稳压3min，直至试验压力。稳压10min后，再将压力降至设计压力，停压时间以查漏工作的需要而定，以发泡剂检验无泄漏为合格。

6.4.3真空管道的气压试验压力应为0.2MPa。

6.4.4当管道输送的介质为有毒气体、腐蚀性气体、可燃气体时，应进行最高工作压力下的泄漏试验。对管段之间焊接接头、管路的分支接头、阀门的填料、法兰或螺纹的连接处，包括全部金属隔膜阀、波纹管阀、调节阀、放空阀、排气阀等，应以发泡剂检验不泄漏为合格。

经过气压试验合格的系统，试验后未经拆卸，该管路系统可不再进行泄漏试验。

6.4.5真空管道在强度试验与泄漏试验合格后，应在系统联动运转前，以设计压力进行真空度试验。试验宜在气温变化较小的环境中进行，试验时间应为24h，增压率不应大于3%。

6.5管道系统的吹除

6.5.1气体管道各项试验合格后，应使用与洁净室洁净度级别匹配的洁净无油压缩空气或高纯氮气吹除管内污物，吹除气流流速应大于20m/s，直至末端排出气体在白纸上无污痕为合格。

6.5.2管道吹除合格后，应再以实际输送的气体，在工作压力下，对管道系统进行吹除，应无异常声音和振动为合格。输送可燃气体的管道在启用之前，应用惰性气体将管内原有气体置换。

6.6气体供给装置

6.6.1瓶装气体供给装置应安装在使用洁净室之外的房间，两室之间穿墙的管道应加套管，并应在管道与套管间隙填满不燃材料并加密封。

6.6.2装置出口管道上的安全阀在安装前应进行阀门开启检查?？粞沽?、密封压力和回座压力应符合安全阀性能要求。

6.6.3集中式真空吸引装置应安装在远离洁净室的建筑物外，安装时应采取有效隔声防振措施，与其连接的弯管半径不应小于5倍管外径，过滤清除设施应安在排气口。

6.7分项验收

6.7.1气体系统分项验收应首先检查以下各项：

1各种成品应有产品合格证，材料应有质量证明文件。

2实际使用的管道材料和规格应符合设计要求。

3系统安装应完整、正确，连接应可靠。除楼层或区域总管与所安装系统的供气阀门(或供气管)不连接外，其他管路、阀门和附件都应安装连接完毕。

4不同系统的管道应有明显的识别标志，需装拆、检修、维护的地方必须有识别标志，每个支、吊架附近也应有识别标志。

6.7.2气体系统的分项验收应包括以下主控项目：

1所有气体管道都应进行气密检查，检查用压力表精度等级不应低于1.5级，指示压力应在表量程1/3～2/3之间。

检验方法：检查记录。

检验数量：全部系统管道。

2高纯气体管道安装完毕应彻底吹除，并对排气洁净度、干燥度和输送气体纯度进行检查。

试验介质为管道实际输送的气体或氮气。试验介质的洁净度以微粒数衡量，干燥度以水痕量浓度衡量，纯度以氧、二氧化碳痕量浓度衡量。

检验方法：检查有资质的检验单位的检验报告。

检验数量：全部检验报告。

3按设计要求做管材样板检查的，管材轴向剖面长度不应小于60mm。

检验方法：检查记录和样板。

4对输送压力大于等于0.5MPa的可燃气体、有毒气体的管道焊接处应进行抽样射线照相检查，并应符合设计的焊缝等级要求。

检验方法：X射线无破损检测。

检验数量：全部。

5气体管道应在气密性检验合格后进行泄漏率检查，以设计压力保持24h后泄漏率不超过0.5%为合格。允许堵漏后再试验。

泄漏率按下式计算：

7水系统

7.1一般规定

7.1.1洁净室的水系统施工包含工艺用水系统、空调用水系统和局部生活用水系统的给水与排水系统的施工与验收。

7.2给水

7.2.1污染区域特别是微生物污染区域内的供水管，不得与用水设备直接相连，必须有空气隔断，配水口应高出用水设备溢出水位，间隔不应小于2.5倍出水口口径。在供水点和供水管路上均应安装压差较高的倒流防止器，供水管上还应设关断阀，供水管上的倒流防止器和阀门应设在清洁区。

7.2.2洁净区的给水管道应涂上醒目的颜色，或用挂牌方式，注明管道内水的种类、用途、流向等。

7.2.3生活用水系统不应采用镀锌钢管，可选用给水塑料管、不锈钢管、无缝钢管，工艺和空调给水系统应选用无缝铜管、聚丙烯管、不锈钢管，并应采用焊接或快速接口连接。

7.3排水

7.3.1污染区特别是致病微生物严重污染区域的排水管应明设，内壁光滑，并与墙壁保持一定检查维修距离。有高致病性微生物污染的排水管线宜设透明套管。

7.3.2污染排水管道应有足够的强度和耐腐蚀性能。用化学灭菌的排水管道可用聚丙烯、聚氯乙烯材料。

7.3.3致病微生物严重污染的排水管道如设有自动阀，应在其前后再设手动阀，阀门安装位置和方式应有采用蒸气和其他气体灭菌的条件。

7.3.4管线布置应符合设计要求。当设计未明确要求时，压力给水管应避让重力流排水管;附件少的管道应避让附件多的管道。

7.3.5致病微生物严重污染的排水管道上的通气管应伸出屋顶，距站人地面应在2m以上，不要接到清洁区;周边应通风良好，并远离一切进气口。处理排气的高效空气过滤器的安装位置与方式应方便维修和拆换。不同用途房间的排水通气管应各自独立。不得将通气口接入净化空调系统的排风管道。

7.3.6致病微生物严重污染的排水管的末端应设定期检查水样的采样门，采样口应有严格密封措施。

7.3.7致病微生物严重污染的排水管道穿墙的地方，应采用不收缩、不燃烧、不起尘的材料密封。

7.3.8地漏的安装应平整、牢固、无渗漏。地漏顶标高应低于附近地面5mm～10mm。地漏安装后必须先封闭。

7.4热水

7.4.1生活和清洁用热水绝热措施的安装应能维持储存温度不低于60℃，或循环温度在51℃以上的条件。

7.4.2作为消毒器件用热水绝热措施的安装应能维持储存温度不低于80℃，或循环温度在65℃以上的条件。

7.4.3冷热水混合用的自动调温阀应安装在出水口处。

7.5纯化水与高纯水

7.5.1工艺用纯化水与高纯水处理设备的安装应符合下列规定：

1纯化水处理设备的安装除应符合设计要求外，还应符合现行国家标准《电子级水》GB11446.1等有关规定。

2纯化水处理流程工艺布置与安装方式应合理、安全、方便、美观。必须校核安装承重安全。

3纯化水水站的地面、沟道和设备必须作防腐处理，应有急救处理药箱的固定放置地点。

4沙滤器、活性炭过滤器和离子交换器的安装应保持垂直。

膜过滤器、反渗透系统、超滤系统和电再生离子系统基架应安置水平。

5集水滤帽固定应牢固，无污损。

6滤器中所有介质应按量投入、铺平、冲洗，待所有介质全部加完后反洗，反洗时间对沙层应为1h，对活性炭应为2h。并应再正洗30min。

7离子交换器应按设计要求加装树脂。

8反渗透压力容器的交换膜可用甘油作润滑剂，但不得使用硅脂。

9膜过滤设备安装膜之前应彻底清洗设备管路，不得有颗粒物进入膜组件。

7.5.2纯水和高纯水管道、管件、阀门安装前应清除油污和进行脱脂处理。

7.5.3管道、管件的预制、装配工作应在洁净环境内进行，操作人员应穿洁净工作服、戴手套上岗。

7.5.4管件安装前后或停顿工作时，应充高纯惰性气体?；?，并应以洁净塑料袋封口，一旦发现封袋破损应及时检查处理。

7.5.5纯化水和高纯水(含注射用水)管道以及纯蒸汽管道采用不锈钢(SUS)管时，其管道加工、安装应符合下列规定：

1不锈钢管在堆放、加工过程中，不应直接与碳钢支架管卡接触，应以塑料或橡胶垫片隔离。

2管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式。

3焊接应采用自动焊，管内灌充纯氩气(纯度99.999%)直至焊接、吹扫完毕。管壁冷却后再用四氯化碳脱脂，然后封闭管口。施焊方向与充气气流方向一致。

4管道部件的点固焊可采用手工钨极氩弧焊，充氩应直至管壁冷却。

5设计无要求时，法兰垫片宜采用非金属的聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯板。法兰紧固螺栓应采用不锈钢材料。

6焊接人员应有相应资质，施焊前应按施工要求做出样品，并应在检验合格后上岗。

7管道系统安装应具备无不流动死水段的特性，系统安装后应有不小于0.5%的坡度。系统管道和所有设备的安装应具有残余水放空能力。

8管道在焊接、安装结束后，应将管内焊缝氧化物冲洗干净，再进行脱脂和酸化钝化，并记录在案。

7.5.6纯水、高纯水管道当采用偏聚二氟乙烯(PVDF)管时，应符合本规范第6.3.6条的相关要求;当采用硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管时，其管道加工、安装应符合下列规定：

1管道加工、安装时应在室温5℃以上、相对湿度85%以下的清洁环境中进行。

2管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接。

3管道或管件的承口不应歪斜和厚度不匀。管端不应有裂缝。管道的承插间隙不应大于0.3mm。

4管道在粘接前，应对粘接面进行磨砂和清洁处理，不得沾污。应远离火源。承口上涂胶粘剂，应不少于2次。应保证插入承口的深度，插入深度达到规定后应保持20min。

5活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接。

6埋地敷设时，应对垫层进行处理或设简易管沟;安装在地面上时，应设防护罩。

7管道采用焊接或平焊法兰连接时，应采用自动或牛自动热焊机。管道法兰应根据不同厚度加工坡口。焊缝应填满，并高于管子表面2mm～3mm，宽度均匀，不应有焦黄、断裂、虚焊等缺陷。焊缝强度不应低于母材的60%，焊缝材质应与母材相同。不同管壁厚度的管道、附件不得对焊。

8PVDF管道焊接时应为均匀的双重焊道，焊道宽度由壁厚确定，并不应小于2mm。

9管道支、吊架不应设在管子接头、焊缝处。所有阀门应以支架支承。支、吊架与管子之间应填入软质绝缘物分隔。

10穿越围护结构时，应设套管，套管内不应有接头。

11直管段长度超过20m时，应安装伸缩管。

7.5.7纯水、高纯水管道系统压力试验合格后，应在系统运转前进行自来水冲洗，冲洗速度宜大于2m/s，直至冲洗前后水质相同。冲洗后应再用10%双氧水进行后级循环消毒4h以上，然后用反渗透处理的水冲洗直至前后水质符合设计要求。

7.6分项验收

7.6.1水系统分项验收应符合下列规定：

1水系统分项验收应按管道系统、检验批或分项工：程分别进行。

2分项验收中需特别试验时，应由有资质的检验单位承担试验工作，或由监理人员参加试验工作。

3应验收下列文件：

（1)纯化水系统工艺流程图;

（2)纯化水系统设备平面布置图;

（3)电控系统原理图;

（4)电气接线图;

（5)管线走向图;

（6)清洗和消毒记录。

7.6.2水系统分项验收应包括以下主控项目：

1管材、管件及其施工方法应符合设计要求。

检验方法：检查文件、记录。

检验数量：全部。

2管材、管件、阀门等组对时，应做到内外壁平齐，对不锈钢管、PVDF管组对间隙相差不得大于0.2mm;非金属管相差不大于1mm;承插间隙应符合要求。

检验方法：平板尺、塞尺量并观察检查。

检验数量：抽查30%，至少1个系统。

3焊接样品的检验数据符合设计要求。

检验方法：检查检验报告。

检验数量：全部。

4承压管道应进行压力试验，试验压力为工作压力的1.5倍，并保持30min不泄漏。

5纯化水系统应同时开放最大数量配水点达到额定流量，循环系统达到设计循环流量。

检验方法：观察检查。

检验数量;全部。

6热水管道应在工作温度流动下试验，并保持30min不泄漏。

检验方法：现场试压试验。

检验数量：抽查30%，至少1个系统。

附录A风管分段漏风检测方法

A.1检测装置

A.1.1风管漏风量检测装置可按图A.1.1所示。

有压气源：额定压力：大于2000Pa;

额定流量：大于被测系统最大允许漏风量。

压力表：量程0～2000Pa;精度等于或高于0.4%(满量程)。

流量计：浮子流量计，精度等于或高于5%(满量程)。

A.2检测方法

A.2.1漏风检测时应使风管保持以下检测压力：总管(与机组的连接管)取1500Pa;干管(总管与支管的连接管)取1000Pa;支管取700Pa(与送风装置的连接管)?；虿捎霉ぷ餮沽?。

A.2.2检测步骤可按以下内容进行：

1检测前应根据设计最大允许漏风量选用合适的浮子流量计，浮子流量计应采用2个或2个以上并联，并采用相同规格的浮子流量计，并联浮子流量计的总测量范围应高于最大允许漏风量20%。当浮子流量计的读数均为零时，关掉一个浮子流量计，如果其余浮子流量计的读数仍为零，再关掉一个流量计，直至只剩一个流量计仍为零时，则认为该管段合格，漏风量的计算可按所用未关浮子流量计最小刻度的5倍计算。应重复以上操作，测量的次数应不少于2次。

2每装好一段风管(可以含一节或一节以上管道和一个或几个部件)，先在地面用盲板封堵所检验风管的两端开口，将检测装置的出气管与风管的盲板接口连接(此盲板有接口)。利用有压气源向试验风管内鼓风，调节有压气源后节流阀的开度使压力表的读数稳定后进行读数，同时记录实验压力。

3试验压力读数稳定是指压力表的读数的波动范围在试验压力的±5%范围内。

4测完后即可将该段(组)风管两端的盲板拆除后吊装，吊装后用膜封好端口，再在地面组装另一段(组)风管并进行测量。

A.3管段漏风量计算